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薄膜电阻的测试方法

2019-10-17 15:26:52   责任编辑:     0

  薄膜电阻由陶瓷基片上厚度为50至250的金属沉积层组成 (采用真空或溅射工艺)。薄膜电阻单位面积阻值高于线绕电阻或金属箔电阻,而且更为便宜。在需要高阻值而精度要求为中等水平时,薄膜电阻更为经济并节省空间。



  它们具有最佳温度敏感沉积层厚度,但最佳薄膜厚度产生的电阻值严重限制了可能的电阻值范围。因此,采用各种沉积层厚度可以实现不同的电阻值范围。薄膜电阻的稳定性受温度上升的影响。薄膜电阻稳定性的老化过程因实现不同电阻值所需的薄膜厚度而不同,因此在整个电阻范围内是可变的。这种化学/机械老化还包括电阻合金的高温氧化。此外,改变最佳薄膜厚度还会严重影响 TCR。由于较薄的沉积层更容易氧化,因此高阻值薄膜电阻退化率非常高。


  由于金属量少,薄膜电阻在潮湿的条件下极易自蚀。浸入封装过程中,水蒸汽会带入杂质,产生的化学腐蚀会在低压直流应用几小时内造成薄膜电阻开路。改变最佳薄膜厚度会严重影响 TCR。由于较薄的沉积层更容易氧化,因此高阻值薄膜电阻退化率非常高。


  薄膜的组成或构造,可能有以下三种可能:


  1、单层薄膜:一般用四探针电阻测试法即可完成;


  2、双层或双层以上的薄层,有两种:


  a、底层的导电性良好的,诸如锂电池极片等:此种类型样品电阻可以使用accfilm膜片电阻测试仪进行测量;


  b、底层导电性差(或绝缘的),可以参考第一种情况,采用四探针仪进行测试;


  电阻器由电阻体、骨架和引出端三部分构成(实芯电阻器的电阻体与骨架合而为一),而决定阻值的只是电阻体。对于截面均匀的电阻体,电阻值为式中ρ为电阻材料的电阻率(欧/厘米);L为电阻体的长度(厘米);A为电阻体的截面积(厘米)。


  薄膜电阻体的厚度d很小,难于测准,且ρ又随厚度而变化,故把视为与薄膜材料有关的常数,称为膜电阻。实际上它就是正方形薄膜的阻值,故又称方阻(欧/方)。对于均匀薄膜式中W为薄膜的宽度(厘米)。通常Rs应在一有限范围内,Rs太大会影响电阻器性能的稳定。因此圆柱形电阻体以刻槽方法,平面形电阻体用刻蚀迂回图形的方法来扩大其阻值范围,并进行阻值微调!


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